半导体计量设备
自动化计量系统现已在整个半导体制造过程中实施，以发现缺陷并确保设备质量。
薄膜半导体制造的发展历史是一个工艺不断改进的过程，实现高成本效益生产的关键是实施自动化计量系统。传统上，计量是指任何类型物体的物理尺寸测量。在薄膜制造业中，自动化计量系统会测量薄膜的厚度、折射率、电阻率和应力等参数。这些计量系统不仅用于跟踪材料的物理特性，而且还会将这些信息反馈到制造过程。
由于许多薄膜特性需要保持温度稳定，因此热管理在半导体测试阶段起着重要作用。更高吞吐量、更高封装密度以及高速光学或电气测量系统对热管理系统提出了越来越高的要求。
Nextreme™ 热电制冷器
NRC400 热电冷却器具有高可靠性，并能够为半导体自动光学检测系统提供±0.05°C 的精确温度稳定性。NRC400 热电冷却器为固态热电冷却器，可提高性能并减少维护，从而降低总体拥有成本。
可通过下述链接查找 Nextreme™ NRC400 热电制冷机或阅读应用说明：
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下一代台式循环冷却器
自动化计量系统的实施是实现具有成本效益的半导体制造的关键。
Cooling and temperature control systems are used throughout semiconductor fabrication facilities. In fabrication facilities both large and small, hundreds to thousands of cooling systems are installed and operate continuously.
Many of the properties of a thin film are also temperature dependent, temperature stability is key and thermal management is critical. In addition, temperature control of the stages and other critical components are required for accurate and repeatable measurements over lengthy periods of time.
半导体计量在半导体制造过程中至关重要。